發布時間：2020-07-01 瀏覽次數：1408
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設備簡介： 多溫區CVD系統一體爐，供氣和真空系統靈活組合，滿足各類薄膜沉積，在半導體工業中應用非常廣泛。包括沉積大面積的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環?？茖W等領域。
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1.采用高純石英或不銹鋼材質爐管，耐腐蝕耐高溫性能優越； 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果優越，降低設備功耗； 3.爐體采用雙層風冷結構工藝，自動抬升系統開啟上蓋； 4.NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，實時加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實驗報告自主生成，實驗數據無限次導出。 5.一體化設備包含多路供氣系統，多溫區加熱系統和高真空系統； |
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產品型號 |
三溫區 |
四溫區 |
五溫區 |
六溫區 |
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爐管尺寸 |
?25/?50/?60/?80/?100*1600mm |
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工作溫度 |
≤1150℃ |
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加熱區選擇 (可定制） |
200mm*3 200+300+200mm 200+400+200mm 300mm*3 300+400+300mm |
200mm*4 200+300+300+200mm 200+400+400+200mm 300mm*4 300+400+400+300mm |
200mm*5 300mm*5
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200mm*6 300mm*6
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升溫速率 |
≤20℃/min |
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電氣規格 |
AC380V 6~10KW |
AC380V 8~14KW |
AC380V 10~15KW |
AC380V 12~18KW |
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氣體系統（可選購） |
浮子或質子 |
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管道示意圖 |
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進氣接口數量 |
2、3、4（多路可選） |
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流量范圍 |
20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) |
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工作壓差范圍 |
0-0.15MPa |
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低真空系統（可選購） |
真空泵型號 |
NBD-3C/NBD-4C |
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抽氣速率 |
3L/s或4L/s |
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進排氣口尺寸 |
KF16/25 |
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系統真空 |
3~5Pa（真空泵極限真空6.2*10-2Pa） |
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工作環境溫度 |
5-40℃ |
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電氣規格 |
AC220V |
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高真空系統（可選購） |
真空泵型號 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
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抽氣速率 |
110L/s |
600L/s |
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真空測量計 |
復合真空計 |
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系統真空 |
4.310^-3Pa |
6*10^-4Pa |
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工作溫度 |
5-40℃ |
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電氣規格 |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非標定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746 |
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